
豪玛氟化钙光学晶体
产品型号:CaF₂
厂商性质:经销商
更新时间:2026-08-18
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不止石英——Hellma氟化钙CaF₂光学晶体,覆盖真空紫外到中红外的高性能光学基材
绝大多数常规石英光学材料在中红外波段(>2.7 μm)会出现显著本征吸收,无法胜任红外光谱、真空紫外、深紫外激光光学需求。氟化钙(CaF₂)单晶,是少数同时覆盖真空紫外、可见光、中红外的高性能光学晶体。德国Hellma Materials深耕氟化钙单晶生长与精密加工,Lithotec®光刻级CaF₂晶体,从晶体毛坯到成品窗口、透镜元件,为半导体光刻、FTIR傅里叶红外光谱、深紫外光学系统、激光设备提供顶级光学材料解决方案。
豪玛氟化钙光学晶体
Hellma氟化钙单晶采用高纯度原料生长,透光区间可达**130 nm真空紫外至9 μm中红外**,填补熔融石英无法覆盖的中红外光谱区间。193 nm ArF准分子激光下10 mm厚度透过率大于99.3%每厘米;在2‑7 μm中红外区域保持高透过率,吸收系数极低,是傅里叶变换红外FTIR光谱仪窗口、红外比色皿的理想基材。晶体为立方晶系,可控制不同晶向(<111>、<100>)。<111>晶向版本应力双折射可以低至≤0.5 nm/cm,折射率均匀性优异,波前畸变小,抗193 nm/248 nm准分子激光,可承受>10⁹次脉冲辐照,不容易产生色心缺陷,是半导体DUV光刻投影物镜核心基材;<100>晶向具备优良可加工性,适合红外光谱窗口、红外光学元件大批量加工应用。
关键光学参数:折射率nd=1.43384,阿贝数νd=95.23,超低色散,极大降低光学系统色差;热导率9.71 W/(m·K),热性能优良,缓解热畸变;抗电离辐射性能优异,可用于空间航天光学系统;非线性折射率低,适配高功率激光光路系统。Hellma可以提供最大直径440 mm大尺寸晶体毛坯,同时提供切片、研磨、抛光、镀膜等全套精密加工,按照客户图纸定制窗口、透镜、棱镜、比色皿窗口片等元件,服务半导体、分析仪器、激光、天文、航天等行业。
豪玛氟化钙光学晶体
主要应用方向:①半导体光刻:193 nm、248 nm光刻系统核心光学元件,支撑先进芯片制程;②红外光谱分析:FTIR红外光谱仪样品窗口、CaF₂红外比色皿,用于液体、固体样品红外透射测试;③深紫外分析仪器:真空紫外光谱仪光学窗口;④激光系统:准分子激光、高功率激光设备光束传输元件;⑤航天天文光学:抗辐射宽波段光学镜头与窗口。
材料使用注意点:氟化钙质地相比石英更脆,容易磕碰碎裂;耐水有限,长时间接触高湿度水汽会出现表面水解,储存需要干燥环境;避免强酸长时间接触。Hellma可以提供抗水解镀膜等可选后处理,提升恶劣环境下稳定性。
在石英材料力不能及的真空紫外与中红外领域,Hellma氟化钙CaF₂光学晶体,凭借高纯晶体生长技术、精密光学加工能力,为光学系统提供宽光谱的核心材料支撑。
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