MLI-ArF-200-SP-AC激光器

MLI-ArF-200-SP-AC是德国MLase品牌推出的工业级激光器，主要用于半导体检测、精密微加工与紫外激光清洗等场景。

MLI-ArF-200-SP-AC激光器采用193nm ArF工作介质，依托MLase成熟的MLI系列平台，在紧凑结构内实现高稳定性输出，满足制造对光源一致性的严苛要求。该设备能量波动低于2%，可长期保持稳定脉冲，有效提升制程良率与重复精度。

一、Mlase激光器核心技术参数

二、性能优势与行业适配

MLI-ArF-200-SP-AC激光器凭借193nm深紫外特性，在DUV掩模检测、掩模清洗、光刻辅助工艺中表现突出。设备支持连续不间断运行，风冷结构简化现场部署，降低运维成本。MLase提供光路扩展、机械安装与接口定制，让MLI-ArF-200-SP-AC快速融入OEM系统，适配半导体、光通信、微流控等多条产线。

三、Mlase激光器品牌常见型号一览

MLase常见型号：MLI-ArF系列、MLI-KrF系列、MLI-KrFFBG系列、ELIOS激光系统

北京汉达森机械技术有限公司，田永福。

MLI-ArF-200-SP-AC激光器、德国MLase 193nm激光器、半导体检测准分子激光、风冷工业激光器

德国Mlase

MLI-500 KrF LC

509265-03

MLI-500-KrF FBG

509261-01

MLI-ARF 1000LC

MLI 500 KrF FBG LC

509265-02

MLI-ARF 1000

MLI 500 KRF

MLI 1000 krf LC

MLI-1000 KrF

Exchange Tube KrF

MLI-HP 1000 Arf-LC

MLI-ARF-1000-SP-LC

MLI-ArF-200-SP-AC

MLI-ArF-200-HP-AC

MLI-ArF-500-HP-LC

MLI-ArF-1000-SP-AC

MLI-ArF-500-SP-LC

MLI-ArF-1000-HP-LC

MLI-KrF-200-HP-AC

MLI-KrF-200-HP-LC

MLI-KrF-500-HP-LC

MLI-KrF-1000-HP-LC