MUEGGE MA4000Y-013BC等离子阵列 低压微波等离子表面处理系统

MUEGGE MA4000Y-013BC是德国穆格推出的模块化低压微波等离子阵列，由4组并行等离子体线组成，适用于大面积表面活化、清洗、刻蚀、灰化、沉积与灭菌处理，是高精度表面改性的一体化解决方案。

德国Muegge

穆格

ME0118P-045AB_SP

ME0100K-181AB_7,5m

MW1006A-210EC_Hb01

MB2568A-110CH

MX3000D-170KL

ME0104M-099AB_3,0m

MH6000S-250BF

MW-PIRE3394-1K-007

一、MA4000Y-013BC技术参数对照表

二、Muegge穆格等离子阵列 MA4000Y-013BC产品优势与应用领域

MUEGGE MA4000Y-013BC采用高密度低压微波等离子体技术，集成气体喷淋头，等离子分布均匀，处理面积达320×320mm，适合晶圆、光学器件、复合材料、生物材料等大面积表面处理。设备结构紧凑，易于集成到自动化产线，支持O₂、N₂、H₂、Ar、CF₄等多种工艺气体，满足清洗、活化、去胶、沉积等多场景需求。

该等离子阵列广泛应用于半导体、光伏、光纤、医疗器材、精密制造等行业，可显著提升材料表面附着力、清洁度与相容性，是制造表面预处理的关键装备。

北京汉达森机械技术有限公司，田永福。

三、Muegge穆格等离子阵列常见型号与产品列表

MUEGGE MA075KA-019BF常压等离子源、MUEGGE MA1250D-121BB微波等离子去胶机、MUEGGE MA4000Y-013BC等离子阵列、MUEGGE MS100KI-501DL线性微波电源、MUEGGE MX1250C-113KL开关式微波电源、MUEGGE MH系列磁控管头、MUEGGE MW系列水负载

四、总结

MUEGGE MA4000Y-013BC以模块化设计、高均匀性、高效率、易集成为核心优势，为大面积低压等离子表面处理提供稳定可靠的方案，是半导体、医疗、光学、新能源行业提升产品品质的重要装备。

MA075KA-019BF 常压等离子源

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