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更新时间:2026-01-09
浏览次数:279在离子束蚀刻、精密镀膜等高精度工艺中,离子源放电电源的稳定性直接决定离子束强度与工艺效果。德国ADL GDI 09 Discharge作为专为离子源设计的放电电源,以900W额定功率、±1%输出精度,成为化工仪器网推广的科研与精密制造核心设备,解决了传统离子源电源放电不稳定、适配性差的行业痛点。
| 核心参数< | 规格详情< | 应用价值 |
|---|---|---|
| 额定功率 | 900W | 适配中小型离子源放电需求 |
| 输出电压 | 150V DC(浮动可达2kV) | 满足离子源高电压放电需求 |
| 输出电流 | 6A | 稳定离子束强度,保障工艺一致性 |
| 输出精度 | ±1%额定值 | 精准控制放电参数,提升工艺精度 |
| 冷却方式 | 内置风扇风冷 | 低噪声运行,适配实验室与生产线 |
离子源应用场景中,传统放电电源常面临三大难题:放电电压波动导致离子束不稳定、输出精度不足影响工艺重复性、与离子源兼容性差需额外调试。ADL GDI 09 Discharge通过精密反馈调节技术,将输出电压波动控制在±1%以内,确保离子束强度稳定;支持电流/电压双模式控制,适配Kaufman、ECR等多种离子源,无需额外适配模块;内置风扇风冷系统,运行噪声低于70dB(A),既满足生产线连续运行需求,也适配实验室低噪声环境。
该设备重点覆盖化工仪器网的科研与精密制造场景:在微电子行业,用于半导体离子蚀刻工艺;在光学器件制造中,为光学涂层离子源提供稳定放电电源;在材料科学领域,适配离子辅助沉积实验,提升涂层致密性与附着力。其“高精度+广适配"的特性,长尾搜索覆盖“离子源放电电源"“ADL GDI 09 精密电源"等需求,成为科研机构与精密制造企业的优选设备。
北京汉达森机械技术有限公司,田永福。我们拥有ADL离子源电源的原厂渠道,提供GDI 09 Discharge的原装货源、技术参数解读与售后维护服务,帮助科研机构与精密制造企业解决离子源放电稳定性问题,提升工艺精度与产品品质。
德国ADL Analoge主要产品型号货号
GXB 50 11Z080,
AS4 01Y001,
AS6 01Y061,
HXB 1400 14Z040,
SB 150 11Z070,
HX 200 800V 13Z110,
Profibus DP 01Y160,
13Z110,
SD 150 20kHz - 800V - 15kW,
HXB 900 14Z210,
SB 300 11Z050,
GG 03.1 Accelerator 09Z002